Pretraživanje
Prikaz rezultata 1-3 od 3
Dvostrano vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla
(Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2019)
Vlažnim hemijskim nagrizanjem u vodenom rastvoru HF (49%) se mogu napraviti i
različite 3D strukture od Pyrex stakla koje daju još jedan stepen slobode u projektovanju senzora i aktuatora. Ovaj tehnološki proces omogućava ...
Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
(Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008, 2015)
Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати ...
Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %
(Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2015)
Anizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH
koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za
izradu različitih trodimenzionalnih struktura. ...