CER - Central Repository
Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
    • English
    • Српски
    • Српски (Serbia)
  • English 
    • English
    • Serbian (Cyrillic)
    • Serbian (Latin)
  • Login
View Item 
  •   CER
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
  •   CER
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства

Authorized Users Only
2015
Authors
Jović, Vesna
Đinović, Zoran
Radovanović, Filip
Starčević, Marko
Lamovec, Jelena
Smiljanić, Milče M.
Lazić, Žarko
Popović, Bogdan
Vorkapić, Miloš
Other (Published version)
,
IHTM
Metadata
Show full item record
Abstract
Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.
Keywords:
PDMS / membrane / silicijum / vlažno hemijsko nagrizanje
Source:
2015
Publisher:
  • Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008
Funding / projects:
  • Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
[ Google Scholar ]
Handle
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981
URI
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981
Collections
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
Institution/Community
IHTM
TY  - GEN
AU  - Jović, Vesna
AU  - Đinović, Zoran
AU  - Radovanović, Filip
AU  - Starčević, Marko
AU  - Lamovec, Jelena
AU  - Smiljanić, Milče M.
AU  - Lazić, Žarko
AU  - Popović, Bogdan
AU  - Vorkapić, Miloš
PY  - 2015
UR  - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981
AB  - Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.
PB  - Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008
T1  - Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
UR  - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981
ER  - 
@misc{
author = "Jović, Vesna and Đinović, Zoran and Radovanović, Filip and Starčević, Marko and Lamovec, Jelena and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Popović, Bogdan and Vorkapić, Miloš",
year = "2015",
abstract = "Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.",
publisher = "Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008",
title = "Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981"
}
Jović, V., Đinović, Z., Radovanović, F., Starčević, M., Lamovec, J., Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Popović, B.,& Vorkapić, M.. (2015). Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства. 
Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008..
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981
Jović V, Đinović Z, Radovanović F, Starčević M, Lamovec J, Smiljanić MM, Lazić Ž, Popović B, Vorkapić M. Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства. 2015;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981 .
Jović, Vesna, Đinović, Zoran, Radovanović, Filip, Starčević, Marko, Lamovec, Jelena, Smiljanić, Milče M., Lazić, Žarko, Popović, Bogdan, Vorkapić, Miloš, "Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства" (2015),
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981 .

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

re3dataOpenAIRERCUB
 

 

All of DSpaceInstitutions/communitiesAuthorsTitlesSubjectsThis institutionAuthorsTitlesSubjects

Statistics

View Usage Statistics

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

re3dataOpenAIRERCUB