Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
Authorized Users Only
2015
Authors
Jović, Vesna
Đinović, Zoran
Radovanović, Filip

Starčević, Marko
Lamovec, Jelena

Smiljanić, Milče M.

Lazić, Žarko

Popović, Bogdan

Vorkapić, Miloš

Other (Published version)

IHTM
Metadata
Show full item recordAbstract
Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.
Keywords:
PDMS / membrane / silicijum / vlažno hemijsko nagrizanjeSource:
2015Publisher:
- Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008
Funding / projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Jović, Vesna AU - Đinović, Zoran AU - Radovanović, Filip AU - Starčević, Marko AU - Lamovec, Jelena AU - Smiljanić, Milče M. AU - Lazić, Žarko AU - Popović, Bogdan AU - Vorkapić, Miloš PY - 2015 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981 AB - Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а. PB - Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008 T1 - Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981 ER -
@misc{ author = "Jović, Vesna and Đinović, Zoran and Radovanović, Filip and Starčević, Marko and Lamovec, Jelena and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Popović, Bogdan and Vorkapić, Miloš", year = "2015", abstract = "Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.", publisher = "Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008", title = "Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981" }
Jović, V., Đinović, Z., Radovanović, F., Starčević, M., Lamovec, J., Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Popović, B.,& Vorkapić, M.. (2015). Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства. Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981
Jović V, Đinović Z, Radovanović F, Starčević M, Lamovec J, Smiljanić MM, Lazić Ž, Popović B, Vorkapić M. Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства. 2015;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981 .
Jović, Vesna, Đinović, Zoran, Radovanović, Filip, Starčević, Marko, Lamovec, Jelena, Smiljanić, Milče M., Lazić, Žarko, Popović, Bogdan, Vorkapić, Miloš, "Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства" (2015), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981 .