Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
Authorized Users Only
2015
Authors
Jović, Vesna
Đinović, Zoran
Radovanović, Filip

Starčević, Marko
Lamovec, Jelena

Smiljanić, Milče M.

Lazić, Žarko

Popović, Bogdan
Vorkapić, Miloš

Other (Published version)

IHTM
Metadata
Show full item recordAbstract
Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.
Keywords:
PDMS / membrane / silicijum / vlažno hemijsko nagrizanjeSource:
2015Publisher:
- Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008
Projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)