Dvostrano vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla
Authorized Users Only
2019
Authors
Rašljić, Milena
Smiljanić, Milče M.

Lazić, Žarko

Cvetanović Zobenica, Katarina

Filipović, Ana

Sarajlić, Milija

Vasiljević-Radović, Dana

Other (Published version)

IHTM
Metadata
Show full item recordAbstract
Vlažnim hemijskim nagrizanjem u vodenom rastvoru HF (49%) se mogu napraviti i
različite 3D strukture od Pyrex stakla koje daju još jedan stepen slobode u projektovanju senzora i aktuatora. Ovaj tehnološki proces omogućava dobijanje otvora, jama i kanala mikrometarskih dimenzija kvalitetnih ivica i površine boljeg kvaliteta na pločici od Pyrex stakla. U IHTM-CMT je razvijen tehnološki postupak za nagrizanje Pyrex pločice sa jedne strane. Ovo tehničko rešenje predstavlja razvijanje tehnološkog postupka koji omogućava nagrizanje pločica sa obe strane, kako istovremeno, tako i jednu po jednu stranu. Novim tehnološkim postupkom će se izrađivati hemijski mikroreaktori i biološke platforme u okviru IHTM-CMT.
Keywords:
Pyrex staklo / vlažno hemijsko nagrizanje / HFSource:
2019Publisher:
- Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)