CER - Central Repository
Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
    • English
    • Српски
    • Српски (Serbia)
  • English 
    • English
    • Serbian (Cyrilic)
    • Serbian (Latin)
  • Login
View Item 
  •   Central Repository
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
  •   Central Repository
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %

Authorized Users Only
2015
Authors
Smiljanić, Milče M.
Lazić, Žarko
Jović, Vesna
Rašljić, Milena
Cvetanović, Katarina
Vasiljević-Radović, Dana
Other (Published version)
,
IHTM
Metadata
Show full item record
Abstract
Anizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura. Osnova ove tehnike su nanošenje silicijum dioksida, koji predstavlja maskirajući sloj, i fotolitografski postupak, kojim se definišu strukture u pravcu <110> ili u pravcu <100> i odgovarajuće kompenzacije na konveksnim uglovima. Nagrizanjem silicijuma kroz otvore u silicijum dioksidu dobijaju se kompenzovani konveksni uglovi čiji su kraci duž pravca <110> ili duž pravca <100>.
Keywords:
TMAH / silicijum / vlažno hemijsko nagrizanje / konveksan ugao
Source:
2015
Publisher:
  • Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Projects:
  • Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
[ Google Scholar ]
URI
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3980
Collections
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
Institution
IHTM

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

OpenAIRERCUB
 

 

All of DSpaceInstitutionsAuthorsTitlesSubjectsThis institutionAuthorsTitlesSubjects

Statistics

View Usage Statistics

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

OpenAIRERCUB