dc.creator | Mladenović, Ivana | |
dc.creator | Lamovec, Jelena | |
dc.creator | Nikolić, Nebojša D. | |
dc.creator | Obradov, Marko | |
dc.creator | Rašljić, Milena | |
dc.creator | Cvetanović-Zobenica, Katarina | |
dc.creator | Radojević, Vesna | |
dc.creator | Vasiljević-Radović, Dana | |
dc.date.accessioned | 2023-02-18T13:56:45Z | |
dc.date.available | 2023-02-18T13:56:45Z | |
dc.date.issued | 2019 | |
dc.identifier.uri | https://enauka.gov.rs/handle/123456789/610016 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5726 | |
dc.description.abstract | Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka
bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako
formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano
sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i
mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih
komponenti (MEMS-komponenti).
Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji
naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama
prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava.
Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je
metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka aditiva, u
režimu periodično-promenljivih struja.
U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je
režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna
gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake ().
Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala
prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih
mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao
gradivni elementi elektronskih komponenti. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.publisher | University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | tanki filmovi | sr |
dc.subject | prevlake | sr |
dc.subject | MEMS | sr |
dc.title | Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dc.citation.rank | M85 | |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |