Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje
Authorized Users Only
2019
Authors
Mladenović, Ivana
Lamovec, Jelena

Nikolić, Nebojša D.
Obradov, Marko

Rašljić, Milena

Cvetanović-Zobenica, Katarina

Radojević, Vesna

Vasiljević-Radović, Dana

Other (Published version)

Metadata
Show full item recordAbstract
Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka
bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako
formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano
sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i
mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih
komponenti (MEMS-komponenti).
Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji
naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama
prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava.
Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je
metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka adi...tiva, u
režimu periodično-promenljivih struja.
U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je
režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna
gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake ().
Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala
prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih
mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao
gradivni elementi elektronskih komponenti.
Keywords:
tanki filmovi / prevlake / MEMSSource:
2019Publisher:
- University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Mladenović, Ivana AU - Lamovec, Jelena AU - Nikolić, Nebojša D. AU - Obradov, Marko AU - Rašljić, Milena AU - Cvetanović-Zobenica, Katarina AU - Radojević, Vesna AU - Vasiljević-Radović, Dana PY - 2019 UR - https://enauka.gov.rs/handle/123456789/358449 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5726 AB - Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih komponenti (MEMS-komponenti). Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava. Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka aditiva, u režimu periodično-promenljivih struja. U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake (). Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao gradivni elementi elektronskih komponenti. PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy T1 - Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726 ER -
@misc{ author = "Mladenović, Ivana and Lamovec, Jelena and Nikolić, Nebojša D. and Obradov, Marko and Rašljić, Milena and Cvetanović-Zobenica, Katarina and Radojević, Vesna and Vasiljević-Radović, Dana", year = "2019", abstract = "Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih komponenti (MEMS-komponenti). Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava. Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka aditiva, u režimu periodično-promenljivih struja. U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake (). Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao gradivni elementi elektronskih komponenti.", publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy", title = "Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726" }
Mladenović, I., Lamovec, J., Nikolić, N. D., Obradov, M., Rašljić, M., Cvetanović-Zobenica, K., Radojević, V.,& Vasiljević-Radović, D.. (2019). Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje. University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726
Mladenović I, Lamovec J, Nikolić ND, Obradov M, Rašljić M, Cvetanović-Zobenica K, Radojević V, Vasiljević-Radović D. Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje. 2019;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726 .
Mladenović, Ivana, Lamovec, Jelena, Nikolić, Nebojša D., Obradov, Marko, Rašljić, Milena, Cvetanović-Zobenica, Katarina, Radojević, Vesna, Vasiljević-Radović, Dana, "Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje" (2019), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726 .