CER - Central Repository
Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
    • English
    • Српски
    • Српски (Serbia)
  • English 
    • English
    • Serbian (Cyrillic)
    • Serbian (Latin)
  • Login
View Item 
  •   CER
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
  •   CER
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje

Authorized Users Only
2019
Authors
Mladenović, Ivana
Lamovec, Jelena
Nikolić, Nebojša D.
Obradov, Marko
Rašljić, Milena
Cvetanović-Zobenica, Katarina
Radojević, Vesna
Vasiljević-Radović, Dana
Other (Published version)
Metadata
Show full item record
Abstract
Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih komponenti (MEMS-komponenti). Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava. Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka adi...tiva, u režimu periodično-promenljivih struja. U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake (). Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao gradivni elementi elektronskih komponenti.

Keywords:
tanki filmovi / prevlake / MEMS
Source:
2019
Publisher:
  • University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
[ Google Scholar ]
Handle
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726
URI
https://enauka.gov.rs/handle/123456789/358449
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5726
Collections
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
Institution/Community
IHTM
TY  - GEN
AU  - Mladenović, Ivana
AU  - Lamovec, Jelena
AU  - Nikolić, Nebojša D.
AU  - Obradov, Marko
AU  - Rašljić, Milena
AU  - Cvetanović-Zobenica, Katarina
AU  - Radojević, Vesna
AU  - Vasiljević-Radović, Dana
PY  - 2019
UR  - https://enauka.gov.rs/handle/123456789/358449
UR  - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5726
AB  - Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka
bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako
formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano
sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i
mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih
komponenti (MEMS-komponenti).
Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji
naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama
prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava.
Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je
metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka aditiva, u
režimu periodično-promenljivih struja.
U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je
režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna
gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake ().
Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala
prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih
mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao
gradivni elementi elektronskih komponenti.
PB  - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
T1  - Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje
UR  - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726
ER  - 
@misc{
author = "Mladenović, Ivana and Lamovec, Jelena and Nikolić, Nebojša D. and Obradov, Marko and Rašljić, Milena and Cvetanović-Zobenica, Katarina and Radojević, Vesna and Vasiljević-Radović, Dana",
year = "2019",
abstract = "Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj tehnološkog procesa izrade tankih filmova i prevlaka
bakra na silicijumu kao podlozi, metodom elektrohemijskog taloženja u pulsnom režimu. Tako
formirana prevlaka bakra na supstratu predstavlja kompozitni materijal koji se koristi u mikro i nano
sistemskim tehnologijama. Metalne prevlake predstavljaju važne gradivne elemente optoelektronskih i
mikroelektronskih spojeva koji se koriste za realizaciju složenijih mikroelektromehaničkih sistemskih
komponenti (MEMS-komponenti).
Zahtevi MEMS-a po pitanju kvaliteta metalnih slojeva i tankih filmova su sve rigorozniji
naročito u pogledu mikrostrukture i mehaničkih svojstava. Potreba za superiornijim karakteristikama
prevlaka bakra koja se koristi u MEMS-u ogleda se u poboljšanju mehaničkih i strukturnih svojstava.
Realizacija nanošenja prevlake bakra na silicijumskoj pločici sa podslojem Cr/Au uradjena je
metodom elektrohemijskog taloženja bakra iz kiselog sulfatnog elektrolita, bez dodatka aditiva, u
režimu periodično-promenljivih struja.
U cilju dobijanja kompaktne uniformne prevlake Cu sa sitnozrnom strukturom, korišćen je
režim pulsirajuće struje i sledeći parametri su bili varirani: dužina trajanja pauze (tp), amplitudna
gustina struje (jA) i vreme taloženja, odnosno debljina prevlake ().
Izvršena je strukturna, morfološka i mehanička karakterizacija kompozitnog materijala
prevlaka-podloga. Uočeno je da se primenom pulsnog režima dobijaju prevlake bakra zadovoljavajućih
mikromehaničkih, adhezionih i mikrostrukturnih karakteristika i kao takve se mogu koristiti kao
gradivni elementi elektronskih komponenti.",
publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy",
title = "Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726"
}
Mladenović, I., Lamovec, J., Nikolić, N. D., Obradov, M., Rašljić, M., Cvetanović-Zobenica, K., Radojević, V.,& Vasiljević-Radović, D.. (2019). Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje. 
University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy..
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726
Mladenović I, Lamovec J, Nikolić ND, Obradov M, Rašljić M, Cvetanović-Zobenica K, Radojević V, Vasiljević-Radović D. Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje. 2019;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726 .
Mladenović, Ivana, Lamovec, Jelena, Nikolić, Nebojša D., Obradov, Marko, Rašljić, Milena, Cvetanović-Zobenica, Katarina, Radojević, Vesna, Vasiljević-Radović, Dana, "Postupak izrade uniformnih i kompaktnih prevlaka bakra - na silicijumu režimom pulsirajuće struje" (2019),
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5726 .

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

re3dataOpenAIRERCUB
 

 

All of DSpaceInstitutions/communitiesAuthorsTitlesSubjectsThis institutionAuthorsTitlesSubjects

Statistics

View Usage Statistics

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

re3dataOpenAIRERCUB