Приказ основних података о документу
Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења
dc.creator | Jović, Vesna | |
dc.creator | Lamovec, Jelena | |
dc.creator | Mladenović, Ivana | |
dc.creator | Smiljanić, Milče M. | |
dc.creator | Todorović, Dragan | |
dc.creator | Lazić, Žarko | |
dc.creator | Popović, Bogdan | |
dc.creator | Vukelić, Branko | |
dc.date.accessioned | 2023-02-17T22:22:36Z | |
dc.date.available | 2023-02-17T22:22:36Z | |
dc.date.issued | 2013 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5725 | |
dc.description.abstract | Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.publisher | University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy | sr |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS// | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | Микрогредице | sr |
dc.subject | Si подлоге | sr |
dc.title | Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dc.citation.rank | M83 | |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |