Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења
Authorized Users Only
2013
Authors
Jović, Vesna
Lamovec, Jelena

Mladenović, Ivana

Smiljanić, Milče M.

Todorović, Dragan
Lazić, Žarko

Popović, Bogdan

Vukelić, Branko

Other (Published version)

Metadata
Show full item recordAbstract
Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на
монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског
микромашинства.
Keywords:
Микрогредице / Si подлогеSource:
2013Publisher:
- University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Funding / projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Jović, Vesna AU - Lamovec, Jelena AU - Mladenović, Ivana AU - Smiljanić, Milče M. AU - Todorović, Dragan AU - Lazić, Žarko AU - Popović, Bogdan AU - Vukelić, Branko PY - 2013 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5725 AB - Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства. PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy T1 - Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 ER -
@misc{ author = "Jović, Vesna and Lamovec, Jelena and Mladenović, Ivana and Smiljanić, Milče M. and Todorović, Dragan and Lazić, Žarko and Popović, Bogdan and Vukelić, Branko", year = "2013", abstract = "Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства.", publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy", title = "Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725" }
Jović, V., Lamovec, J., Mladenović, I., Smiljanić, M. M., Todorović, D., Lazić, Ž., Popović, B.,& Vukelić, B.. (2013). Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења. University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725
Jović V, Lamovec J, Mladenović I, Smiljanić MM, Todorović D, Lazić Ž, Popović B, Vukelić B. Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења. 2013;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 .
Jović, Vesna, Lamovec, Jelena, Mladenović, Ivana, Smiljanić, Milče M., Todorović, Dragan, Lazić, Žarko, Popović, Bogdan, Vukelić, Branko, "Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења" (2013), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 .