Претраживање
Приказ резултата 1-4 од 4
Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2012)
Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH je novi tehnološki postupak
u realizaciji različitih senzora pritiska. Tehnika maskless nagrizanja omogućava dobijanje
trodimenzionalnih silicijumskih struktura ...
Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2013)
Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на
монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског
микромашинства.
Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2014)
Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) ...
Побољшана механичка својства танких ламинатних композитних филмова Ni/Cu за примену у микроелектромеханичким системима (МЕМС)
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2013)
Електрохемијском депозицијом из два електролита формирани су ламинатни композитни филмови Ni/Cu ситнозрне структуре и укупне дебљине од 2-10 micrometers на масивном бакарном микрокристалном супстрату. Ови ламинатни композитни ...