Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka.
Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u
vodenom rastvoru HF.
TY - GEN
AU - Lazić, Žarko
AU - Smiljanić, Milče M.
AU - Rašljić, Milena
AU - Mladenović, Ivana
AU - Radulović, Katarina
AU - Sarajlić, Milija
AU - Vasiljević-Radović, Dana
PY - 2014
UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5747
AB - Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka.
Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u
vodenom rastvoru HF.
PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
T1 - Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au
UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
ER -
@misc{
author = "Lazić, Žarko and Smiljanić, Milče M. and Rašljić, Milena and Mladenović, Ivana and Radulović, Katarina and Sarajlić, Milija and Vasiljević-Radović, Dana",
year = "2014",
abstract = "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka.
Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u
vodenom rastvoru HF.",
publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy",
title = "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747"
}
Lazić, Ž., Smiljanić, M. M., Rašljić, M., Mladenović, I., Radulović, K., Sarajlić, M.,& Vasiljević-Radović, D.. (2014). Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au.
University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy..
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
Lazić Ž, Smiljanić MM, Rašljić M, Mladenović I, Radulović K, Sarajlić M, Vasiljević-Radović D. Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au. 2014;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 .
Lazić, Žarko, Smiljanić, Milče M., Rašljić, Milena, Mladenović, Ivana, Radulović, Katarina, Sarajlić, Milija, Vasiljević-Radović, Dana, "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au" (2014),
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 .
