CER - Central Repository
Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
    • English
    • Српски
    • Српски (Serbia)
  • English 
    • English
    • Serbian (Cyrillic)
    • Serbian (Latin)
  • Login
View Item 
  •   CER
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
  •   CER
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au

Authorized Users Only
2014
Authors
Lazić, Žarko
Smiljanić, Milče M.
Rašljić, Milena
Mladenović, Ivana
Radulović, Katarina
Sarajlić, Milija
Vasiljević-Radović, Dana
Other (Published version)
Metadata
Show full item record
Abstract
Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka. Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u vodenom rastvoru HF.
Keywords:
hemijsko nagrizanje / Pyrex / spaterovanje / fotolitografija / MEMS
Source:
2014
Publisher:
  • University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
[ Google Scholar ]
Handle
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
URI
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5747
Collections
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
Institution/Community
IHTM
TY  - GEN
AU  - Lazić, Žarko
AU  - Smiljanić, Milče M.
AU  - Rašljić, Milena
AU  - Mladenović, Ivana
AU  - Radulović, Katarina
AU  - Sarajlić, Milija
AU  - Vasiljević-Radović, Dana
PY  - 2014
UR  - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5747
AB  - Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka.
Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u
vodenom rastvoru HF.
PB  - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
T1  - Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au
UR  - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
ER  - 
@misc{
author = "Lazić, Žarko and Smiljanić, Milče M. and Rašljić, Milena and Mladenović, Ivana and Radulović, Katarina and Sarajlić, Milija and Vasiljević-Radović, Dana",
year = "2014",
abstract = "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka.
Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u
vodenom rastvoru HF.",
publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy",
title = "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747"
}
Lazić, Ž., Smiljanić, M. M., Rašljić, M., Mladenović, I., Radulović, K., Sarajlić, M.,& Vasiljević-Radović, D.. (2014). Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au. 
University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy..
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
Lazić Ž, Smiljanić MM, Rašljić M, Mladenović I, Radulović K, Sarajlić M, Vasiljević-Radović D. Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au. 2014;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 .
Lazić, Žarko, Smiljanić, Milče M., Rašljić, Milena, Mladenović, Ivana, Radulović, Katarina, Sarajlić, Milija, Vasiljević-Radović, Dana, "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au" (2014),
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 .

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

re3dataOpenAIRERCUB
 

 

All of DSpaceInstitutions/communitiesAuthorsTitlesSubjectsThis institutionAuthorsTitlesSubjects

Statistics

View Usage Statistics

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

re3dataOpenAIRERCUB