Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au
Authorized Users Only
2014
Authors
Lazić, Žarko
Smiljanić, Milče M.

Rašljić, Milena

Mladenović, Ivana

Radulović, Katarina

Sarajlić, Milija

Vasiljević-Radović, Dana

Other (Published version)

Metadata
Show full item recordAbstract
Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki
postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove
tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka.
Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u
vodenom rastvoru HF.
Keywords:
hemijsko nagrizanje / Pyrex / spaterovanje / fotolitografija / MEMSSource:
2014Publisher:
- University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Lazić, Žarko AU - Smiljanić, Milče M. AU - Rašljić, Milena AU - Mladenović, Ivana AU - Radulović, Katarina AU - Sarajlić, Milija AU - Vasiljević-Radović, Dana PY - 2014 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5747 AB - Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka. Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u vodenom rastvoru HF. PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy T1 - Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 ER -
@misc{ author = "Lazić, Žarko and Smiljanić, Milče M. and Rašljić, Milena and Mladenović, Ivana and Radulović, Katarina and Sarajlić, Milija and Vasiljević-Radović, Dana", year = "2014", abstract = "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka. Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u vodenom rastvoru HF.", publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy", title = "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747" }
Lazić, Ž., Smiljanić, M. M., Rašljić, M., Mladenović, I., Radulović, K., Sarajlić, M.,& Vasiljević-Radović, D.. (2014). Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au. University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
Lazić Ž, Smiljanić MM, Rašljić M, Mladenović I, Radulović K, Sarajlić M, Vasiljević-Radović D. Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au. 2014;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 .
Lazić, Žarko, Smiljanić, Milče M., Rašljić, Milena, Mladenović, Ivana, Radulović, Katarina, Sarajlić, Milija, Vasiljević-Radović, Dana, "Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au" (2014), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 .