Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH je novi tehnološki postupak
u realizaciji različitih senzora pritiska. Tehnika maskless nagrizanja omogućava dobijanje
trodimenzionalnih silicijumskih struktura na više nivoa koji su na različitim dubinama.
Osnova maskless tehnike su dve termičke oksidacije koje formiraju silicijum diokside znatno
različitih debljina i dva fotolitografska postupka. Glavni princip maskless tehnike je da se
posle prvog dela nagrizanja do određene dubine skida drugi tanki silicijum dioksid, a
zatim se nastavlja drugi deo nagrizanja do formiranja željene strukture.
Keywords:
Maskless tehnika / tehnološki postupak / Si
Source:
2012
Publisher:
University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
TY - GEN
AU - Smiljanić, Milče M.
AU - Lazić, Žarko
AU - Jović, Vesna
AU - Radulović, Katarina
AU - Vukelić, Branko
AU - Popović, Bogdan
AU - Vasiljević-Radović, Dana
PY - 2012
UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5805
AB - Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH je novi tehnološki postupak
u realizaciji različitih senzora pritiska. Tehnika maskless nagrizanja omogućava dobijanje
trodimenzionalnih silicijumskih struktura na više nivoa koji su na različitim dubinama.
Osnova maskless tehnike su dve termičke oksidacije koje formiraju silicijum diokside znatno
različitih debljina i dva fotolitografska postupka. Glavni princip maskless tehnike je da se
posle prvog dela nagrizanja do određene dubine skida drugi tanki silicijum dioksid, a
zatim se nastavlja drugi deo nagrizanja do formiranja željene strukture.
PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
T1 - Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka
UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5805
ER -
@misc{
author = "Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Jović, Vesna and Radulović, Katarina and Vukelić, Branko and Popović, Bogdan and Vasiljević-Radović, Dana",
year = "2012",
abstract = "Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH je novi tehnološki postupak
u realizaciji različitih senzora pritiska. Tehnika maskless nagrizanja omogućava dobijanje
trodimenzionalnih silicijumskih struktura na više nivoa koji su na različitim dubinama.
Osnova maskless tehnike su dve termičke oksidacije koje formiraju silicijum diokside znatno
različitih debljina i dva fotolitografska postupka. Glavni princip maskless tehnike je da se
posle prvog dela nagrizanja do određene dubine skida drugi tanki silicijum dioksid, a
zatim se nastavlja drugi deo nagrizanja do formiranja željene strukture.",
publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy",
title = "Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5805"
}
Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Jović, V., Radulović, K., Vukelić, B., Popović, B.,& Vasiljević-Radović, D.. (2012). Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka.
University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy..
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5805
Smiljanić MM, Lazić Ž, Jović V, Radulović K, Vukelić B, Popović B, Vasiljević-Radović D. Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka. 2012;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5805 .
Smiljanić, Milče M., Lazić, Žarko, Jović, Vesna, Radulović, Katarina, Vukelić, Branko, Popović, Bogdan, Vasiljević-Radović, Dana, "Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka" (2012),
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5805 .
