Search
Now showing items 1-3 of 3
Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro
(2020)
U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se
nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici ...
Metoda za posmatranje i analizu protoka fluida u Si-Pyrex staklo opto-mikrofluidnim platformama
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2023)
Ovo tehničko rešenje predstavlja razvoj metode za posmatranje i analizu protoka fluida u silicijum-Pyrex staklo opto-mikrofluidnim platformama. Metoda se zasniva na snimanju video zapisa pomoću metalografskog mikroskopa ...
Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %
(Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2015)
Anizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH
koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za
izradu različitih trodimenzionalnih struktura. ...