Search
Now showing items 1-2 of 2
Nove primene procesa nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH u izradi MEMS senzora / New applications of silicon wet etching using tmah water solution for fabrication of mems sensors.
(Универзитет у Београду, Електротехнички факултет, 2013)
U ovom radu prikazani su razvoj i usavršavanje tehnološkog procesa vlažnoganizotropnog hemijskog nagrizanja silicijuma orijentacije (100) u vodenom rastvorutetrametil-amonijum hidroksida (TMAH) koncentracije 25 tež. % na ...
Mikroelektronski senzor elementarne žive (Hg) u gasnoj fazi / Microelectronic sensor of elemental mercury (Hg) in gas phase
(Универзитет у Београду, Физички факултет, 2013)
Cilj ove disertacije je razvoj mikroelektronskog adsorpcionog senzora iosvajanje tehnologije njegove proizvodnje za potrebe praćenja aero zagañenja,zaštite životne sredine i primene u industrijskim procesima.Senzor je ...