Претраживање
Приказ резултата 1-2 од 2
Nove primene procesa nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH u izradi MEMS senzora / New applications of silicon wet etching using tmah water solution for fabrication of mems sensors.
(Универзитет у Београду, Електротехнички факултет, 2013)
U ovom radu prikazani su razvoj i usavršavanje tehnološkog procesa vlažnoganizotropnog hemijskog nagrizanja silicijuma orijentacije (100) u vodenom rastvorutetrametil-amonijum hidroksida (TMAH) koncentracije 25 tež. % na ...
Унапређење интелигентих индустријских мерних инструмената са МЕМС сензорима / Improvement of intelligent industrial measurement instruments with MEMS sensors
(Универзитет у Београду, Електротехнички факултет, 2016)
Примена сензора је у наглом порасту у свим областима живота и рада. Све је већи број физичких, али и других (хемијских, биолошких) величина које је потребно мерити, уз растуће захтеве у погледу функционалности и мерних ...