Претраживање
Приказ резултата 1-1 од 1
Nove primene procesa nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH u izradi MEMS senzora / New applications of silicon wet etching using tmah water solution for fabrication of mems sensors.
(Универзитет у Београду, Електротехнички факултет, 2013)
U ovom radu prikazani su razvoj i usavršavanje tehnološkog procesa vlažnoganizotropnog hemijskog nagrizanja silicijuma orijentacije (100) u vodenom rastvorutetrametil-amonijum hidroksida (TMAH) koncentracije 25 tež. % na ...