Browsing Radovi istraživača / Researchers' publications by Subject "podgrizanje konveksnih uglova"
Now showing items 1-1 of 1
-
Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka / Realization of Si microcantilevers by wet anisotropic etching on {100} oriented substrates applying <100> compensation beams
(Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku, 2013)