Pretraživanje
Prikaz rezultata 1-1 od 1
Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH u realizaciji SOI SP-11 i usavršavanju SP-9 i SP-12 senzora pritisaka
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2012)
Primena tehnike maskless nagrizanja u vodenom rastvoru TMAH je novi tehnološki postupak
u realizaciji različitih senzora pritiska. Tehnika maskless nagrizanja omogućava dobijanje
trodimenzionalnih silicijumskih struktura ...