Претраживање
Приказ резултата 1-2 од 2
Poboljšanje performansi višenamenskog senzora sa termoparovima primenom sopstvene MEMS tehnologije za izradu SOI piezorezistivnih senzora pritiska / Enhancement of the performance of multipurpose thermopile-based sensor using proprietary mems technology for soi piezoresistive pressure sensors fabrication
(ETRAN Society, 2012)
MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta su tema
dugogodišnjeg istraživanja u IHTM-CMTM-u. Oni su
posebno interesantni zbog činjenice da imaju raznovrsnu
primenu (senzori protoka, senzori vakuuma, termalni
konvertori, ...
Odredjivanje brzine nagrizanja monokristalnog si (100) orijentacije u puferovanom rastvoru fluorovodonične kiseline / Etch rate determination of (100) oriented monocrystalline si in buffered hydrofluoric acid solution
(Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku, 2012)
Izučavan je uticaj rastvorenog O2
u BOE (puferovanim
rastvorima za nagrizanje SiO2
) sastava 7 vol.(40 tež. % NH4F) : 1
vol. (49 tež. % HF), koji se uobičajeno koristi za delineaciju SiO2 u
procesima mikrofabrikacije ...