Pretraživanje
Prikaz rezultata 1-2 od 2
Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro
(2020)
U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se
nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici ...
Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %
(Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2015)
Anizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH
koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za
izradu različitih trodimenzionalnih struktura. ...