Prikaz osnovnih podataka o dokumentu
Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora
dc.creator | Sarajlić, Milija | |
dc.creator | Jakšić, Zoran | |
dc.creator | Lazić, Žarko | |
dc.creator | Randjelović, Danijela | |
dc.creator | Radulović, Katarina | |
dc.creator | Tanasković, Dragan | |
dc.date.accessioned | 2019-04-19T09:31:50Z | |
dc.date.available | 2019-04-19T09:31:50Z | |
dc.date.issued | 2017 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664 | |
dc.description.abstract | Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS// | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | plazmoni | sr |
dc.subject | plazmonski senzori | sr |
dc.subject | hemijski senzori | sr |
dc.subject | fotolitografija | sr |
dc.subject | direktno crtanje laserom | sr |
dc.subject | fotorezist | sr |
dc.subject | tanak sloj | sr |
dc.subject | aluminijum | sr |
dc.subject | plasmons | sr |
dc.subject | plasmonic sensors | sr |
dc.subject | chemical sensors | sr |
dc.subject | direct laser drawing | sr |
dc.subject | photoresist | sr |
dc.subject | thin layers | sr |
dc.subject | aluminium | sr |
dc.subject | photolitography | sr |
dc.title | Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dcterms.abstract | Радуловић, Катарина; Јакшић, Зоран; Лазић, Жарко; Сарајлић, Милија; Ранђеловић, Данијела; Танасковић, Драган; Технолошки поступак израде субмикрометарских стубића фоторезиста за потребе пројектовања плазмонских сензора; Технолошки поступак израде субмикрометарских стубића фоторезиста за потребе пројектовања плазмонских сензора; | |
dc.rights.holder | IHTM CMT | sr |
dc.citation.rank | M85 | |
dc.description.other | Naručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije; | sr |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |