Softversko rešenje za analizu otvorenog ugla površine tankih filmova nanešenih na tekstuirane supstrate
Abstract
Ово техничко решење се односи на анализу отвореног угла површине танких филмова након наношења на текстуиране супстрате. Танкослоjне силициjумске соларне ћелиjе се фабрикуjу на текстуираним супстратима да би се повећала апсорпциjа светлости
услед дифракциjе и расипања светлости [1–13]. Међутим, превелика храпавост текстуираних супстрата може довести до поjаве електричних дефеката приликом фабрикациjе
соларних ћелиjа од микрокристалног силициjума [8, 11]. Пошто ориjентациjа раста микрокристалног силициjума зависи од отвореног угла површине на коjу се филм наноси, на
текстуираним супстратима кристални региони расту jедни према другима што на краjу
доводи до поjаве пукотине у филму где долази до заробљавања и рекомбинациjе носилаца
наелектрисања. Ескперименталне студиjе су показале да иако jе на неким текстуираним
супстратима оптичка апсорпциjа светлости већа, остварене електричне карактеристике
фабрикованих соларних ћелиjа су лошиjе управо због поjаве дефеката [8, 11]
1
Ово техн...ичко решење омогућава да се симулира изглед танког филма нанешног на
текстуирани супстрат и затим анализира отворени угао површине унутар филма. Тако
одређени отворени углови су приказани у интерактивном графику где jе могуће тачно
увидети на коjи местима и при коjоj дебљини филма би дошло до поjаве формирања пукотине. Коришћењем овог техничког решења практично се остваруjе виртуелна инспекциjа
танкослоjних соларних ћелиjа без стварне фабрикациjе соларних ћелиjа чиме се значаjно
штеди на лабораториjским ресурсима.
Keywords:
tanki filmovi / mikrokristalni silicijum / solarne ćelijeSource:
2021Publisher:
- ИХТМ - Центар за микроелектронске технологиjе, Универзитет у Београду
Funding / projects:
- Ministry of Science, Technological Development and Innovation of the Republic of Serbia, institutional funding - 200026 (University of Belgrade, Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy - IChTM) (RS-MESTD-inst-2020-200026)
Note:
- TR M81
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Jovanov, Vladislav AU - Rašljić-Rafajilović, Milena AU - Mladenović, Ivana PY - 2021 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5844 AB - Ово техничко решење се односи на анализу отвореног угла површине танких филмова након наношења на текстуиране супстрате. Танкослоjне силициjумске соларне ћелиjе се фабрикуjу на текстуираним супстратима да би се повећала апсорпциjа светлости услед дифракциjе и расипања светлости [1–13]. Међутим, превелика храпавост текстуираних супстрата може довести до поjаве електричних дефеката приликом фабрикациjе соларних ћелиjа од микрокристалног силициjума [8, 11]. Пошто ориjентациjа раста микрокристалног силициjума зависи од отвореног угла површине на коjу се филм наноси, на текстуираним супстратима кристални региони расту jедни према другима што на краjу доводи до поjаве пукотине у филму где долази до заробљавања и рекомбинациjе носилаца наелектрисања. Ескперименталне студиjе су показале да иако jе на неким текстуираним супстратима оптичка апсорпциjа светлости већа, остварене електричне карактеристике фабрикованих соларних ћелиjа су лошиjе управо због поjаве дефеката [8, 11] 1 Ово техничко решење омогућава да се симулира изглед танког филма нанешног на текстуирани супстрат и затим анализира отворени угао површине унутар филма. Тако одређени отворени углови су приказани у интерактивном графику где jе могуће тачно увидети на коjи местима и при коjоj дебљини филма би дошло до поjаве формирања пукотине. Коришћењем овог техничког решења практично се остваруjе виртуелна инспекциjа танкослоjних соларних ћелиjа без стварне фабрикациjе соларних ћелиjа чиме се значаjно штеди на лабораториjским ресурсима. PB - ИХТМ - Центар за микроелектронске технологиjе, Универзитет у Београду T1 - Softversko rešenje za analizu otvorenog ugla površine tankih filmova nanešenih na tekstuirane supstrate UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5844 ER -
@misc{ author = "Jovanov, Vladislav and Rašljić-Rafajilović, Milena and Mladenović, Ivana", year = "2021", abstract = "Ово техничко решење се односи на анализу отвореног угла површине танких филмова након наношења на текстуиране супстрате. Танкослоjне силициjумске соларне ћелиjе се фабрикуjу на текстуираним супстратима да би се повећала апсорпциjа светлости услед дифракциjе и расипања светлости [1–13]. Међутим, превелика храпавост текстуираних супстрата може довести до поjаве електричних дефеката приликом фабрикациjе соларних ћелиjа од микрокристалног силициjума [8, 11]. Пошто ориjентациjа раста микрокристалног силициjума зависи од отвореног угла површине на коjу се филм наноси, на текстуираним супстратима кристални региони расту jедни према другима што на краjу доводи до поjаве пукотине у филму где долази до заробљавања и рекомбинациjе носилаца наелектрисања. Ескперименталне студиjе су показале да иако jе на неким текстуираним супстратима оптичка апсорпциjа светлости већа, остварене електричне карактеристике фабрикованих соларних ћелиjа су лошиjе управо због поjаве дефеката [8, 11] 1 Ово техничко решење омогућава да се симулира изглед танког филма нанешног на текстуирани супстрат и затим анализира отворени угао површине унутар филма. Тако одређени отворени углови су приказани у интерактивном графику где jе могуће тачно увидети на коjи местима и при коjоj дебљини филма би дошло до поjаве формирања пукотине. Коришћењем овог техничког решења практично се остваруjе виртуелна инспекциjа танкослоjних соларних ћелиjа без стварне фабрикациjе соларних ћелиjа чиме се значаjно штеди на лабораториjским ресурсима.", publisher = "ИХТМ - Центар за микроелектронске технологиjе, Универзитет у Београду", title = "Softversko rešenje za analizu otvorenog ugla površine tankih filmova nanešenih na tekstuirane supstrate", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5844" }
Jovanov, V., Rašljić-Rafajilović, M.,& Mladenović, I.. (2021). Softversko rešenje za analizu otvorenog ugla površine tankih filmova nanešenih na tekstuirane supstrate. ИХТМ - Центар за микроелектронске технологиjе, Универзитет у Београду.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5844
Jovanov V, Rašljić-Rafajilović M, Mladenović I. Softversko rešenje za analizu otvorenog ugla površine tankih filmova nanešenih na tekstuirane supstrate. 2021;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5844 .
Jovanov, Vladislav, Rašljić-Rafajilović, Milena, Mladenović, Ivana, "Softversko rešenje za analizu otvorenog ugla površine tankih filmova nanešenih na tekstuirane supstrate" (2021), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5844 .