Приказ основних података о документу

dc.creatorLazić, Žarko
dc.creatorSmiljanić, Milče M.
dc.creatorRašljić, Milena
dc.creatorMladenović, Ivana
dc.creatorRadulović, Katarina
dc.creatorSarajlić, Milija
dc.creatorVasiljević-Radović, Dana
dc.date.accessioned2023-02-19T22:30:57Z
dc.date.available2023-02-19T22:30:57Z
dc.date.issued2014
dc.identifier.urihttps://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5747
dc.description.abstractVlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka. Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u vodenom rastvoru HF.sr
dc.language.isosrsr
dc.publisherUniversity of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgysr
dc.rightsrestrictedAccesssr
dc.subjecthemijsko nagrizanjesr
dc.subjectPyrexsr
dc.subjectspaterovanjesr
dc.subjectfotolitografijasr
dc.subjectMEMSsr
dc.titleVlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Ausr
dc.typeothersr
dc.rights.licenseARRsr
dc.citation.rankM83
dc.identifier.rcubhttps://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747
dc.type.versionpublishedVersionsr


Документи

Thumbnail

Овај документ се појављује у следећим колекцијама

Приказ основних података о документу