Приказ основних података о документу
Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au
dc.creator | Lazić, Žarko | |
dc.creator | Smiljanić, Milče M. | |
dc.creator | Rašljić, Milena | |
dc.creator | Mladenović, Ivana | |
dc.creator | Radulović, Katarina | |
dc.creator | Sarajlić, Milija | |
dc.creator | Vasiljević-Radović, Dana | |
dc.date.accessioned | 2023-02-19T22:30:57Z | |
dc.date.available | 2023-02-19T22:30:57Z | |
dc.date.issued | 2014 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5747 | |
dc.description.abstract | Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla u vodenom rastvoru 49% HF je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura od stakla. Osnova ove tehnike je nanošenje (spaterovanje) tankih slojeva Cr/Au i dva fotolitografska postupka. Slojevi Cr/Au i fotorezista služe kao maskirajući materijal pri nagrizanju Pyrex stakla u vodenom rastvoru HF. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.publisher | University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | hemijsko nagrizanje | sr |
dc.subject | Pyrex | sr |
dc.subject | spaterovanje | sr |
dc.subject | fotolitografija | sr |
dc.subject | MEMS | sr |
dc.title | Vlažno hemijsko nagrizanje Pyrex stakla sa maskirajućim slojem Cr/Au | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dc.citation.rank | M83 | |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5747 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |