Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења
Samo za registrovane korisnike
2013
Autori
Jović, VesnaLamovec, Jelena
Mladenović, Ivana
Smiljanić, Milče M.
Todorović, Dragan
Lazić, Žarko
Popović, Bogdan
Vukelić, Branko
Ostalo (Objavljena verzija)
Metapodaci
Prikaz svih podataka o dokumentuApstrakt
Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на
монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског
микромашинства.
Ključne reči:
Микрогредице / Si подлогеIzvor:
2013Izdavač:
- University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Finansiranje / projekti:
Kolekcije
Institucija/grupa
IHTMTY - GEN AU - Jović, Vesna AU - Lamovec, Jelena AU - Mladenović, Ivana AU - Smiljanić, Milče M. AU - Todorović, Dragan AU - Lazić, Žarko AU - Popović, Bogdan AU - Vukelić, Branko PY - 2013 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5725 AB - Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства. PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy T1 - Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 ER -
@misc{ author = "Jović, Vesna and Lamovec, Jelena and Mladenović, Ivana and Smiljanić, Milče M. and Todorović, Dragan and Lazić, Žarko and Popović, Bogdan and Vukelić, Branko", year = "2013", abstract = "Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства.", publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy", title = "Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725" }
Jović, V., Lamovec, J., Mladenović, I., Smiljanić, M. M., Todorović, D., Lazić, Ž., Popović, B.,& Vukelić, B.. (2013). Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења. University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725
Jović V, Lamovec J, Mladenović I, Smiljanić MM, Todorović D, Lazić Ž, Popović B, Vukelić B. Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења. 2013;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 .
Jović, Vesna, Lamovec, Jelena, Mladenović, Ivana, Smiljanić, Milče M., Todorović, Dragan, Lazić, Žarko, Popović, Bogdan, Vukelić, Branko, "Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења" (2013), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 .