Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења
Само за регистроване кориснике
2013
Аутори
Jović, VesnaLamovec, Jelena
Mladenović, Ivana
Smiljanić, Milče M.
Todorović, Dragan
Lazić, Žarko
Popović, Bogdan
Vukelić, Branko
Остало (Објављена верзија)
Метаподаци
Приказ свих података о документуАпстракт
Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на
монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског
микромашинства.
Кључне речи:
Микрогредице / Si подлогеИзвор:
2013Издавач:
- University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Финансирање / пројекти:
Колекције
Институција/група
IHTMTY - GEN AU - Jović, Vesna AU - Lamovec, Jelena AU - Mladenović, Ivana AU - Smiljanić, Milče M. AU - Todorović, Dragan AU - Lazić, Žarko AU - Popović, Bogdan AU - Vukelić, Branko PY - 2013 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/5725 AB - Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства. PB - University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy T1 - Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 ER -
@misc{ author = "Jović, Vesna and Lamovec, Jelena and Mladenović, Ivana and Smiljanić, Milče M. and Todorović, Dragan and Lazić, Žarko and Popović, Bogdan and Vukelić, Branko", year = "2013", abstract = "Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског микромашинства.", publisher = "University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy", title = "Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725" }
Jović, V., Lamovec, J., Mladenović, I., Smiljanić, M. M., Todorović, D., Lazić, Ž., Popović, B.,& Vukelić, B.. (2013). Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења. University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725
Jović V, Lamovec J, Mladenović I, Smiljanić MM, Todorović D, Lazić Ž, Popović B, Vukelić B. Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења. 2013;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 .
Jović, Vesna, Lamovec, Jelena, Mladenović, Ivana, Smiljanić, Milče M., Todorović, Dragan, Lazić, Žarko, Popović, Bogdan, Vukelić, Branko, "Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења" (2013), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5725 .