Features furnace to review termocouples in CMTM laboratory
Karakteristike peći za pregled termoparova u CMTM laboratoriji
Apstrakt
The paper presents the testing and analysis of the characteristics of furnace which is previously used in the semiconductor industry. With the changes that have been analyzed, has become a part of the equipment to view thermocouples in the laboratory CMTM. Characteristics of steel block, which enable simultaneous measurements of more thermocouples to gain the necessary parameters of temperature in the right direction, are discussed.
U radu je prikazano ispitivanje i analiza karakteristika peći koja se ranije koristila u industriji poluprovodnika. Sa izmenama koje su analizirane u radu, postala je deo opreme za pregled termoparova u laboratoriji CMTM-a. Prikazane su karakteristike izotermskog čeličnog bloka kojim je omogućeno istovremeno merenje više termoparova i da se pri tome dobiju zahtevani parametri temperature u aksijalnom pravcu.