Приказ основних података о документу
Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска
dc.creator | Poljak, Predrag | |
dc.creator | Frantlović, Miloš | |
dc.creator | Smiljanić, Milče M. | |
dc.creator | Lazić, Žarko | |
dc.creator | Jokić, Ivana | |
dc.creator | Randjelović, Danijela | |
dc.creator | Jakšić, Olga | |
dc.creator | Tanasković, Dragan | |
dc.creator | Vasiljević-Radović, Dana | |
dc.date.accessioned | 2020-12-07T23:24:01Z | |
dc.date.available | 2020-12-07T23:24:01Z | |
dc.date.issued | 2019 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3986 | |
dc.description.abstract | Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.publisher | Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy | sr |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS// | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | Апаратура | sr |
dc.subject | сензор притиска | sr |
dc.subject | карактеризација | sr |
dc.title | Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dcterms.abstract | Васиљевић Радовић, Дана; Пољак, Предраг; Франтловић, Милош; Смиљанић, Милче М.; Лазић, Жарко; Јокић, Ивана; Рандјеловић, Данијела; Јакшић, Олга; Танасковић, Драган; Aparatura za automatsku karakterizaciju silicijumskih piezootpornih MEMS senzora pritiska; | |
dc.rights.holder | IHTM | sr |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |