Show simple item record

dc.creatorPoljak, Predrag
dc.creatorFrantlović, Miloš
dc.creatorSmiljanić, Milče M.
dc.creatorLazić, Žarko
dc.creatorJokić, Ivana
dc.creatorRanđelović, Danijela
dc.creatorJakšić, Olga
dc.creatorTanasković, Dragan
dc.creatorVasiljević-Radović, Dana
dc.date.accessioned2020-12-07T23:24:01Z
dc.date.available2020-12-07T23:24:01Z
dc.date.issued2019
dc.identifier.urihttps://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3986
dc.description.abstractОво техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.sr
dc.language.isosrsr
dc.publisherBelgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgysr
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS//sr
dc.rightsrestrictedAccesssr
dc.subjectАпаратураsr
dc.subjectсензор притискаsr
dc.subjectкарактеризацијаsr
dc.titleАпаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притискаsr
dc.typeothersr
dc.rights.licenseARRsr
dcterms.abstractВасиљевић Радовић, Дана; Пољак, Предраг; Франтловић, Милош; Смиљанић, Милче М.; Лазић, Жарко; Јокић, Ивана; Рандјеловић, Данијела; Јакшић, Олга; Танасковић, Драган; Aparatura za automatsku karakterizaciju silicijumskih piezootpornih MEMS senzora pritiska;
dc.rights.holderIHTMsr
dc.type.versionpublishedVersionsr


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record