Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска
Authorized Users Only
2019
Authors
Poljak, PredragFrantlović, Miloš
Smiljanić, Milče M.
Lazić, Žarko
Jokić, Ivana
Randjelović, Danijela
Jakšić, Olga
Tanasković, Dragan
Vasiljević-Radović, Dana
Other (Published version)
,
IHTM
Metadata
Show full item recordAbstract
Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.
Keywords:
Апаратура / сензор притиска / карактеризацијаSource:
2019Publisher:
- Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Funding / projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Poljak, Predrag AU - Frantlović, Miloš AU - Smiljanić, Milče M. AU - Lazić, Žarko AU - Jokić, Ivana AU - Randjelović, Danijela AU - Jakšić, Olga AU - Tanasković, Dragan AU - Vasiljević-Radović, Dana PY - 2019 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3986 AB - Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ. PB - Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy T1 - Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986 ER -
@misc{ author = "Poljak, Predrag and Frantlović, Miloš and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Jokić, Ivana and Randjelović, Danijela and Jakšić, Olga and Tanasković, Dragan and Vasiljević-Radović, Dana", year = "2019", abstract = "Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.", publisher = "Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy", title = "Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986" }
Poljak, P., Frantlović, M., Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Jokić, I., Randjelović, D., Jakšić, O., Tanasković, D.,& Vasiljević-Radović, D.. (2019). Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска. Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy.. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986
Poljak P, Frantlović M, Smiljanić MM, Lazić Ž, Jokić I, Randjelović D, Jakšić O, Tanasković D, Vasiljević-Radović D. Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска. 2019;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986 .
Poljak, Predrag, Frantlović, Miloš, Smiljanić, Milče M., Lazić, Žarko, Jokić, Ivana, Randjelović, Danijela, Jakšić, Olga, Tanasković, Dragan, Vasiljević-Radović, Dana, "Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска" (2019), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986 .