Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.
Keywords:
Апаратура / сензор притиска / карактеризација
Source:
2019
Publisher:
Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
TY - GEN
AU - Poljak, Predrag
AU - Frantlović, Miloš
AU - Smiljanić, Milče M.
AU - Lazić, Žarko
AU - Jokić, Ivana
AU - Randjelović, Danijela
AU - Jakšić, Olga
AU - Tanasković, Dragan
AU - Vasiljević-Radović, Dana
PY - 2019
UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3986
AB - Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.
PB - Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
T1 - Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска
UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986
ER -
@misc{
author = "Poljak, Predrag and Frantlović, Miloš and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Jokić, Ivana and Randjelović, Danijela and Jakšić, Olga and Tanasković, Dragan and Vasiljević-Radović, Dana",
year = "2019",
abstract = "Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.",
publisher = "Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy",
title = "Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986"
}
Poljak, P., Frantlović, M., Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Jokić, I., Randjelović, D., Jakšić, O., Tanasković, D.,& Vasiljević-Radović, D.. (2019). Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска.
Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy..
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986
Poljak P, Frantlović M, Smiljanić MM, Lazić Ž, Jokić I, Randjelović D, Jakšić O, Tanasković D, Vasiljević-Radović D. Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска. 2019;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3986 .
,