Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска

Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.

Keywords:

Апаратура / сензор притиска / карактеризација

Source:
2019

Publisher:

Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy

TY  - GEN
AU  - Poljak, Predrag
AU  - Frantlović, Miloš
AU  - Smiljanić, Milče M.
AU  - Lazić, Žarko
AU  - Jokić, Ivana
AU  - Randjelović, Danijela
AU  - Jakšić, Olga
AU  - Tanasković, Dragan
AU  - Vasiljević-Radović, Dana
PY  - 2019
UR  - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3986
AB  - Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.
PB  - Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
T1  - Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска
ER  -

@misc{
author = "Poljak, Predrag and Frantlović, Miloš and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Jokić, Ivana and Randjelović, Danijela and Jakšić, Olga and Tanasković, Dragan and Vasiljević-Radović, Dana",
year = "2019",
abstract = "Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.",
publisher = "Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy",
title = "Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска"
}

Poljak, P., Frantlović, M., Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Jokić, I., Randjelović, D., Jakšić, O., Tanasković, D.,& Vasiljević-Radović, D.. (2019). Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска. 
Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy..

Poljak P, Frantlović M, Smiljanić MM, Lazić Ž, Jokić I, Randjelović D, Jakšić O, Tanasković D, Vasiljević-Radović D. Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска. 2019;..

Poljak, Predrag, Frantlović, Miloš, Smiljanić, Milče M., Lazić, Žarko, Jokić, Ivana, Randjelović, Danijela, Jakšić, Olga, Tanasković, Dragan, Vasiljević-Radović, Dana, "Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска" (2019).