Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска
Authorized Users Only
2019
Authors
Poljak, Predrag
Frantlović, Miloš

Smiljanić, Milče M.

Lazić, Žarko

Jokić, Ivana

Ranđelović, Danijela

Jakšić, Olga

Tanasković, Dragan

Vasiljević-Radović, Dana

Other (Published version)

IHTM
Metadata
Show full item recordAbstract
Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује
аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних
МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности
електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред
комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске
технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање
процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.
Keywords:
Апаратура / сензор притиска / карактеризацијаSource:
2019Publisher:
- Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)