CER - Central Repository
Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
    • English
    • Српски
    • Српски (Serbia)
  • English 
    • English
    • Serbian (Cyrilic)
    • Serbian (Latin)
  • Login
View Item 
  •   Central Repository
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
  •   Central Repository
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Апаратура за аутоматску карактеризацију силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска

Authorized Users Only
2019
Authors
Poljak, Predrag
Frantlović, Miloš
Smiljanić, Milče M.
Lazić, Žarko
Jokić, Ivana
Ranđelović, Danijela
Jakšić, Olga
Tanasković, Dragan
Vasiljević-Radović, Dana
Other (Published version)
,
IHTM
Metadata
Show full item record
Abstract
Ово техничко решење обухвата хардверско-софтверски систем који омогућује аутоматско спровођење карактеризације већег броја силицијумских пиезоотпорних МЕМС сензора притиска истовремено. Користи се за одређивање зависности електричних параметара таквих сензора од притиска и температуре. Апаратура, поред комерцијално доступне, обухвата опрему развијену у Центру за микроелектронске технологије (ИХТМ–ЦМТ), а софтверска апликација која служи за управљање процесом је у потпуности развијена у ИХТМ–ЦМТ.
Keywords:
Апаратура / сензор притиска / карактеризација
Source:
2019
Publisher:
  • Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
Projects:
  • Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
[ Google Scholar ]
URI
https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3986
Collections
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
Institution
IHTM

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

OpenAIRERCUB
 

 

All of DSpaceInstitutionsAuthorsTitlesSubjectsThis institutionAuthorsTitlesSubjects

Statistics

View Usage Statistics

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

OpenAIRERCUB