Приказ основних података о документу
Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
dc.creator | Jović, Vesna | |
dc.creator | Đinović, Zoran | |
dc.creator | Radovanović, Filip | |
dc.creator | Starčević, Marko | |
dc.creator | Lamovec, Jelena | |
dc.creator | Smiljanić, Milče M. | |
dc.creator | Lazić, Žarko | |
dc.creator | Popović, Bogdan | |
dc.creator | Vorkapić, Miloš | |
dc.date.accessioned | 2020-12-07T15:03:19Z | |
dc.date.available | 2020-12-07T15:03:19Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981 | |
dc.description.abstract | Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.publisher | Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008 | sr |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS// | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | PDMS | sr |
dc.subject | membrane | sr |
dc.subject | silicijum | sr |
dc.subject | vlažno hemijsko nagrizanje | sr |
dc.title | Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dcterms.abstract | Ђиновић, Зоран; Воркапић, Милош; Поповић, Богдан; Лазић, Жарко; Смиљанић, Милче М.; Ламовец, Јелена; Старчевић, Марко; Радовановић, Филип; Јовић, Весна; Realizacija PDMS (PoliDiMetilSiloksanskih) membrana nad definisanim otvorima u Si {100} orijentacije postupcima zapreminskog mikromašinstva; | |
dc.rights.holder | IHTM | sr |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3981 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |