Show simple item record

dc.creatorJović, Vesna
dc.creatorĐinović, Zoran
dc.creatorRadovanović, Filip
dc.creatorStarčević, Marko
dc.creatorLamovec, Jelena
dc.creatorSmiljanić, Milče M.
dc.creatorLazić, Žarko
dc.creatorPopović, Bogdan
dc.creatorVorkapić, Miloš
dc.date.accessioned2020-12-07T15:03:19Z
dc.date.available2020-12-07T15:03:19Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.urihttps://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981
dc.description.abstractПоступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.sr
dc.language.isosrsr
dc.publisherMinistarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008sr
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS//sr
dc.rightsrestrictedAccesssr
dc.subjectPDMSsr
dc.subjectmembranesr
dc.subjectsilicijumsr
dc.subjectvlažno hemijsko nagrizanjesr
dc.titleРеализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинстваsr
dc.typeothersr
dc.rights.licenseARRsr
dcterms.abstractЂиновић, Зоран; Воркапић, Милош; Поповић, Богдан; Лазић, Жарко; Смиљанић, Милче М.; Ламовец, Јелена; Старчевић, Марко; Радовановић, Филип; Јовић, Весна; Realizacija PDMS (PoliDiMetilSiloksanskih) membrana nad definisanim otvorima u Si {100} orijentacije postupcima zapreminskog mikromašinstva;
dc.rights.holderIHTMsr
dc.type.versionpublishedVersionsr


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record