Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.
TY - BOOK
AU - Jović, Vesna
AU - Đinović, Zoran
AU - Radovanović, Filip
AU - Starčević, Marko
AU - Lamovec, Jelena
AU - Smiljanić, Milče M.
AU - Lazić, Žarko
AU - Popović, Bogdan
AU - Vorkapić, Miloš
PY - 2015
UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981
AB - Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.
PB - Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008
T1 - Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
ER -
@book{
author = "Jović, Vesna and Đinović, Zoran and Radovanović, Filip and Starčević, Marko and Lamovec, Jelena and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Popović, Bogdan and Vorkapić, Miloš",
year = "2015",
url = "https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3981",
abstract = "Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати класичним фотолитографским поступцима, овај технолошки поступак омогућава реализацију дефинисаних мембрана овог материјала на супстратима Si који се у потпуности могу структуирати поступцима класичне фотолитографије. Ово отвара могућност за
реализацијом читавог низа сензора и актуатора који у свом раду могу да користе хипереластичне мембране ПДМС-а.",
publisher = "Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008",
title = "Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства"
}
Jović V, Đinović Z, Radovanović F, Starčević M, Lamovec J, Smiljanić MM, Lazić Ž, Popović B, Vorkapić M. Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства. 2015;
Jović, V., Đinović, Z., Radovanović, F., Starčević, M., Lamovec, J., Smiljanić, M. M., Lazić, Ž., Popović, B.,& Vorkapić, M. (2015). Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства.
Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008..
Jović Vesna, Đinović Zoran, Radovanović Filip, Starčević Marko, Lamovec Jelena, Smiljanić Milče M., Lazić Žarko, Popović Bogdan, Vorkapić Miloš, "Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства" (2015)
,