Приказ основних података о документу
Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %
dc.creator | Smiljanić, Milče M. | |
dc.creator | Lazić, Žarko | |
dc.creator | Jović, Vesna | |
dc.creator | Rašljić, Milena | |
dc.creator | Cvetanović, Katarina | |
dc.creator | Vasiljević-Radović, Dana | |
dc.date.accessioned | 2020-12-07T15:01:11Z | |
dc.date.available | 2020-12-07T15:01:11Z | |
dc.date.issued | 2015 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3980 | |
dc.description.abstract | Anizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura. Osnova ove tehnike su nanošenje silicijum dioksida, koji predstavlja maskirajući sloj, i fotolitografski postupak, kojim se definišu strukture u pravcu <110> ili u pravcu <100> i odgovarajuće kompenzacije na konveksnim uglovima. Nagrizanjem silicijuma kroz otvore u silicijum dioksidu dobijaju se kompenzovani konveksni uglovi čiji su kraci duž pravca <110> ili duž pravca <100>. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.publisher | Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy | sr |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS// | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | TMAH | sr |
dc.subject | silicijum | sr |
dc.subject | vlažno hemijsko nagrizanje | sr |
dc.subject | konveksan ugao | sr |
dc.title | Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dcterms.abstract | Васиљевић Радовић, Дана; Смиљанић, Милче М.; Лазић, Жарко; Јовић, Весна; Рашљић, Милена; Цветановић, Катарина; Компензација конвексног угла у воденом раствору ТМAХ концентрације 25 теж. %; Компензација конвексног угла у воденом раствору ТМAХ концентрације 25 теж. %; | |
dc.rights.holder | IHTM | sr |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3980 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |