Show simple item record

dc.creatorSmiljanić, Milče M.
dc.creatorLazić, Žarko
dc.creatorJović, Vesna
dc.creatorRašljić, Milena
dc.creatorCvetanović, Katarina
dc.creatorVasiljević-Radović, Dana
dc.date.accessioned2020-12-07T15:01:11Z
dc.date.available2020-12-07T15:01:11Z
dc.date.issued2015
dc.identifier.urihttps://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3980
dc.description.abstractAnizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za izradu različitih trodimenzionalnih struktura. Osnova ove tehnike su nanošenje silicijum dioksida, koji predstavlja maskirajući sloj, i fotolitografski postupak, kojim se definišu strukture u pravcu <110> ili u pravcu <100> i odgovarajuće kompenzacije na konveksnim uglovima. Nagrizanjem silicijuma kroz otvore u silicijum dioksidu dobijaju se kompenzovani konveksni uglovi čiji su kraci duž pravca <110> ili duž pravca <100>.sr
dc.language.isosrsr
dc.publisherBelgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgysr
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS//sr
dc.rightsrestrictedAccesssr
dc.subjectTMAHsr
dc.subjectsilicijumsr
dc.subjectvlažno hemijsko nagrizanjesr
dc.subjectkonveksan ugaosr
dc.titleKompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %sr
dc.typeothersr
dc.rights.licenseARRsr
dcterms.abstractВасиљевић Радовић, Дана; Смиљанић, Милче М.; Лазић, Жарко; Јовић, Весна; Рашљић, Милена; Цветановић, Катарина; Компензација конвексног угла у воденом раствору ТМAХ концентрације 25 теж. %; Компензација конвексног угла у воденом раствору ТМAХ концентрације 25 теж. %;
dc.rights.holderIHTMsr
dc.type.versionpublishedVersionsr


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record