Show simple item record

dc.creatorRađenović, Branislav
dc.creatorSmiljanić, Milče M.
dc.creatorRadmilović Rađenović, Marija
dc.date.accessioned2020-12-07T13:26:44Z
dc.date.available2020-12-07T13:26:44Z
dc.date.issued2020
dc.identifier.urihttps://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3977
dc.description.abstractU zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici predstavljaju neku vrstu projekcije dvodimenzionalnog, planarnog lika sa maske u treću dimenziju, koja je ovom slučaju debljina silicijumske pločice i prostiru se do dubine nagrizanja. Za vreme anizotropnog vlažnog hemijskog nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % TMAH na temperaturi od 80 °C različite kristalografske ravni se nagrizaju različitim brzinama. Zbog različitih brzina nagrizanja neke ravni će se pojavljivati tokom nagrizanja dok će druge nestajati. Tokom nagrizanja javlja se problem podgrizanja konveksnih uglova i pojave određenih kristalografski ravni koje deformišu trodimenzionalne silicijumske strukture. Problem podgrizanja se može rešiti direktnim uračunavanjem ove pojave u projektovanju i kompenzacijom dodavanjem viška materijala na mestima koja se brže nagrizaju (strukture za kompenzaciju). Projektovanje željenog oblika u zapreminskom mikromašinstvu je najčešće veoma komplikovano i zahteva puno eksperimentalnog rada da bi se predvidelo kako se ponaša odgovarajuće sredstvo za nagrizanje. Eskperimentalni rad zahteva potrošnju silicijumskih pločica i sredstva za nagrizanje, kao i primenu procesa termičke oksidacije i hemijskih pranja u pripremi za eksperiment. Razvoj softvera za simulaciju nagrizanja silicijuma u anizotropnom vodenom rastvori smanjuje troškove razvoja i proizvodnje u IHTM-CMT jer se pre izrade silicijumske strukture mogu simulirati različite maske i izabrati onaj dizajn koji je najbolji.sr
dc.language.isosrsr
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/MESTD/inst-2020/200026/RS//sr
dc.rightsrestrictedAccesssr
dc.subjectlevel set metodasr
dc.subjectsilicijumsr
dc.subjectvlažno anizotropno hemijsko nagrizanjesr
dc.subjectTMAHsr
dc.subjectMEMSsr
dc.titleSoftver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSProsr
dc.typeothersr
dc.rights.licenseARRsr
dcterms.abstractРадмиловић Рађеновић, Марија; Рађеновић, Бранислав; Смиљанић, Милче М.; Софтвер за симулацију нагризања силицијума ЛСПро; Софтвер за симулацију нагризања силицијума ЛСПро;
dc.rights.holderIHTMsr
dc.type.versionpublishedVersionsr


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record