Приказ основних података о документу
Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro
dc.creator | Rađenović, Branislav | |
dc.creator | Smiljanić, Milče M. | |
dc.creator | Radmilović Rađenović, Marija | |
dc.date.accessioned | 2020-12-07T13:26:44Z | |
dc.date.available | 2020-12-07T13:26:44Z | |
dc.date.issued | 2020 | |
dc.identifier.uri | https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3977 | |
dc.description.abstract | U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici predstavljaju neku vrstu projekcije dvodimenzionalnog, planarnog lika sa maske u treću dimenziju, koja je ovom slučaju debljina silicijumske pločice i prostiru se do dubine nagrizanja. Za vreme anizotropnog vlažnog hemijskog nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % TMAH na temperaturi od 80 °C različite kristalografske ravni se nagrizaju različitim brzinama. Zbog različitih brzina nagrizanja neke ravni će se pojavljivati tokom nagrizanja dok će druge nestajati. Tokom nagrizanja javlja se problem podgrizanja konveksnih uglova i pojave određenih kristalografski ravni koje deformišu trodimenzionalne silicijumske strukture. Problem podgrizanja se može rešiti direktnim uračunavanjem ove pojave u projektovanju i kompenzacijom dodavanjem viška materijala na mestima koja se brže nagrizaju (strukture za kompenzaciju). Projektovanje željenog oblika u zapreminskom mikromašinstvu je najčešće veoma komplikovano i zahteva puno eksperimentalnog rada da bi se predvidelo kako se ponaša odgovarajuće sredstvo za nagrizanje. Eskperimentalni rad zahteva potrošnju silicijumskih pločica i sredstva za nagrizanje, kao i primenu procesa termičke oksidacije i hemijskih pranja u pripremi za eksperiment. Razvoj softvera za simulaciju nagrizanja silicijuma u anizotropnom vodenom rastvori smanjuje troškove razvoja i proizvodnje u IHTM-CMT jer se pre izrade silicijumske strukture mogu simulirati različite maske i izabrati onaj dizajn koji je najbolji. | sr |
dc.language.iso | sr | sr |
dc.relation | info:eu-repo/grantAgreement/MESTD/inst-2020/200026/RS// | sr |
dc.rights | restrictedAccess | sr |
dc.subject | level set metoda | sr |
dc.subject | silicijum | sr |
dc.subject | vlažno anizotropno hemijsko nagrizanje | sr |
dc.subject | TMAH | sr |
dc.subject | MEMS | sr |
dc.title | Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro | sr |
dc.type | other | sr |
dc.rights.license | ARR | sr |
dcterms.abstract | Радмиловић Рађеновић, Марија; Рађеновић, Бранислав; Смиљанић, Милче М.; Софтвер за симулацију нагризања силицијума ЛСПро; Софтвер за симулацију нагризања силицијума ЛСПро; | |
dc.rights.holder | IHTM | sr |
dc.identifier.rcub | https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3977 | |
dc.type.version | publishedVersion | sr |