Show simple item record

dc.creatorSarajlić, Milija
dc.creatorJakšić, Zoran
dc.creatorLazić, Žarko
dc.creatorRanđelović, Danijela
dc.creatorRadulović, Katarina
dc.creatorTanasković, Dragan
dc.date.accessioned2019-04-19T09:31:50Z
dc.date.available2019-04-19T09:31:50Z
dc.date.issued2017
dc.identifier.urihttp://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664
dc.description.abstractOvo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.sr
dc.language.isosrsr
dc.relationinfo:eu-repo/grantAgreement/MESTD/Technological Development (TD or TR)/32008/RS//sr
dc.rightsrestrictedAccesssr
dc.subjectplazmonisr
dc.subjectplazmonski senzorisr
dc.subjecthemijski senzorisr
dc.subjectfotolitografijasr
dc.subjectdirektno crtanje laseromsr
dc.subjectfotorezistsr
dc.subjecttanak slojsr
dc.subjectaluminijumsr
dc.subjectplasmonssr
dc.subjectplasmonic sensorssr
dc.subjectchemical sensorssr
dc.subjectdirect laser drawingsr
dc.subjectphotoresistsr
dc.subjectthin layerssr
dc.subjectaluminiumsr
dc.subjectphotolitographysr
dc.titleTehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzorasr
dc.typeothersr
dc.rights.licenseARRsr
dcterms.abstractРадуловић, Катарина; Јакшић, Зоран; Лазић, Жарко; Сарајлић, Милија; Ранђеловић, Данијела; Танасковић, Драган; Технолошки поступак израде субмикрометарских стубића фоторезиста за потребе пројектовања плазмонских сензора; Технолошки поступак израде субмикрометарских стубића фоторезиста за потребе пројектовања плазмонских сензора;
dc.rights.holderIHTM CMTsr
dc.citation.rankM85
dc.description.otherNaručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije;sr
dc.type.versionpublishedVersionsr


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record