Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora
Authorized Users Only
2017
Authors
Sarajlić, MilijaJakšić, Zoran
Lazić, Žarko
Randjelović, Danijela
Radulović, Katarina
Tanasković, Dragan
Other (Published version)
,
IHTM CMT
Metadata
Show full item recordAbstract
Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.
Keywords:
plazmoni / plazmonski senzori / hemijski senzori / fotolitografija / direktno crtanje laserom / fotorezist / tanak sloj / aluminijum / plasmons / plasmonic sensors / chemical sensors / direct laser drawing / photoresist / thin layers / aluminium / photolitographySource:
2017Funding / projects:
- Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-MESTD-Technological Development (TD or TR)-32008)
Note:
- Naručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije;
Collections
Institution/Community
IHTMTY - GEN AU - Sarajlić, Milija AU - Jakšić, Zoran AU - Lazić, Žarko AU - Randjelović, Danijela AU - Radulović, Katarina AU - Tanasković, Dragan PY - 2017 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664 AB - Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi. T1 - Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 ER -
@misc{ author = "Sarajlić, Milija and Jakšić, Zoran and Lazić, Žarko and Randjelović, Danijela and Radulović, Katarina and Tanasković, Dragan", year = "2017", abstract = "Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.", title = "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664" }
Sarajlić, M., Jakšić, Z., Lazić, Ž., Randjelović, D., Radulović, K.,& Tanasković, D.. (2017). Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. . https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664
Sarajlić M, Jakšić Z, Lazić Ž, Randjelović D, Radulović K, Tanasković D. Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. 2017;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 .
Sarajlić, Milija, Jakšić, Zoran, Lazić, Žarko, Randjelović, Danijela, Radulović, Katarina, Tanasković, Dragan, "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora" (2017), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 .