CER - Central Repository
Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy
    • English
    • Српски
    • Српски (Serbia)
  • English 
    • English
    • Serbian (Cyrilic)
    • Serbian (Latin)
  • Login
View Item 
  •   Central Repository
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
  •   Central Repository
  • IHTM
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
  • View Item
JavaScript is disabled for your browser. Some features of this site may not work without it.

Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora

Authorized Users Only
2017
Authors
Sarajlić, Milija
Jakšić, Zoran
Lazić, Žarko
Ranđelović, Danijela
Radulović, Katarina
Tanasković, Dragan
Other (Published version)
,
IHTM CMT
Metadata
Show full item record
Abstract
Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.
Keywords:
plazmoni / plazmonski senzori / hemijski senzori / fotolitografija / direktno crtanje laserom / fotorezist / tanak sloj / aluminijum / plasmons / plasmonic sensors / chemical sensors / direct laser drawing / photoresist / thin layers / aluminium / photolitography
Source:
2017
Projects:
  • Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)
Note:
  • Naručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije;
[ Google Scholar ]
URI
http://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664
Collections
  • Tehnička rešenja / Technical solutions
Institution
IHTM

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

OpenAIRERCUB
 

 

All of DSpaceInstitutionsAuthorsTitlesSubjectsThis institutionAuthorsTitlesSubjects

Statistics

View Usage Statistics

DSpace software copyright © 2002-2015  DuraSpace
About CeR – Central Repository | Send Feedback

OpenAIRERCUB