Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora

Sarajlić, Milija; Jakšić, Zoran; Lazić, Žarko; Ranđelović, Danijela; Radulović, Katarina; Tanasković, Dragan

Authorized Users Only

2017

Authors

Sarajlić, Milija

Jakšić, Zoran

Lazić, Žarko

Ranđelović, Danijela

Radulović, Katarina

Tanasković, Dragan

Other (Published version)

IHTM CMT

Metadata

Show full item record

Abstract

Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.

Keywords:

plazmoni / plazmonski senzori / hemijski senzori / fotolitografija / direktno crtanje laserom / fotorezist / tanak sloj / aluminijum / plasmons / plasmonic sensors / chemical sensors / direct laser drawing / photoresist / thin layers / aluminium / photolitography

Source:
2017

Projects:

Micro- Nanosystems and Sensors for Electric Power and Process Industry and Environmental Protection (RS-32008)

Note:

Naručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije;

[ Google Scholar ]

TY  - BOOK
AU  - Sarajlić, Milija
AU  - Jakšić, Zoran
AU  - Lazić, Žarko
AU  - Ranđelović, Danijela
AU  - Radulović, Katarina
AU  - Tanasković, Dragan
PY  - 2017
UR  - http://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664
AB  - Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane   periodične   strukture   sa   dimenzijama   manjim   od   dimenzija   dizajniranih   na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech,  Italija)  u  IHTM-CMT  bile  su  oko  5mm  [2].  Potreba  za  kontrolisanim  periodičnim strukturama  proizlazi  iz  njihove  primene  kod  plazmonskih  struktura  koje  se  mogu  koristiti  kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.
T1  - Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora
ER  -

@book{
author = "Sarajlić, Milija and Jakšić, Zoran and Lazić, Žarko and Ranđelović, Danijela and Radulović, Katarina and Tanasković, Dragan",
year = "2017",
url = "http://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664",
abstract = "Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane   periodične   strukture   sa   dimenzijama   manjim   od   dimenzija   dizajniranih   na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech,  Italija)  u  IHTM-CMT  bile  su  oko  5mm  [2].  Potreba  za  kontrolisanim  periodičnim strukturama  proizlazi  iz  njihove  primene  kod  plazmonskih  struktura  koje  se  mogu  koristiti  kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.",
title = "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora"
}

Sarajlić, M., Jakšić, Z., Lazić, Ž., Ranđelović, D., Radulović, K.,& Tanasković, D. (2017). Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora.
.

Sarajlić M, Jakšić Z, Lazić Ž, Ranđelović D, Radulović K, Tanasković D. Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. 2017;

Sarajlić Milija, Jakšić Zoran, Lazić Žarko, Ranđelović Danijela, Radulović Katarina, Tanasković Dragan, "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora" (2017)