Show simple item record

Nanofabrikacija planarnih split ring rezonatora za metamaterijale sa negativnim indeksom prelamanja u infracrvenom opsegu

dc.creatorJakšić, Zoran
dc.creatorVasiljević-Radović, Dana
dc.creatorMaksimović, Milan
dc.creatorSarajlić, Milija
dc.creatorĐurić, Zoran G.
dc.date.accessioned2019-01-30T17:14:24Z
dc.date.available2019-01-30T17:14:24Z
dc.date.issued2006
dc.identifier.issn0352-5139
dc.identifier.urihttp://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/258
dc.description.abstractExperimental nanofabrication of planar structures for one-dimensional metamaterials designed to achieve a negative effective refractive index in the mid-infrared range (5-10 micrometers) was performed. Double split ring and complementary double split ring resonators (SRR and CSRR) with square and circular geometries, were chosen to be fabricated since these are the basic building blocks to achieve a negative effective dielectric permittivity and magnetic permeability. Scanning probe nanolithography with z-scanner movement was used to fabricate straight-line and curvilinear segments with a line width of 80-120 nm. The geometries were delineated in 20 nm thin silver layers sputter-deposited on a positive photoresist substrate spin-coated on polished single crystal silicon wafers, as well as on polycarbonate slabs. The morphology of the structures was characterized by atomic force microscopy. The feature repeatibility was 60-150 nm, depending on the process conditions and the feature complexity. The nanolithographic groove depth in different samples ranged from 4 nm to 80 nm.en
dc.description.abstractVršena je eksperimentalna nanofabrikacija planarnih struktura za jednodimenzionalne metamaterijale projektovane da dostignu negativnu vrednost efektivnog indeksa prelamanja u srednjetalasnom infracrvenom opsegu (5-10 mikrometara). Napravljeni su dvostruki split ring i komplementarni split ring rezonatori (SRR i CSRR) sa kvadratnom i kružnom geometrijom, pošto se oni mogu koristiti kao osnovni gradivni blokovi za dostizanje negativne efektivne dielektrične permitivnosti i magnetske permeabilnosti. Korišćena je nanolitografija skanirajućom sondom u režimu z-pomeraja skanera da bi se napravili pravolinijski i zakrivljeni segmenti sa širinom linije 80 - 120 nm. Geometrija je delineirana u 20 nm debelim slojevima srebra deponovanim spaterovanjem na podlogu od fotorezista nanetu spinerom na polirane pločice monokristala silicijuma, kao i na polikarbonatnim pločicama. Morfologija struktura karakterisana je "atomic force" mikroskopom. Ponovljivost detalja bila je 60-150 nm, zavisno od procesnih uslova i složenosti detalja. Dubina nanolitografskih brazdi menjanja je u opsegu od 4 do 80 nm.sr
dc.publisherSerbian Chemical Society
dc.rightsopenAccess
dc.rights.urihttps://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/4.0/
dc.sourceJournal of the Serbian Chemical Society
dc.subjectnanofabricationen
dc.subjectscanning probe nanolithographyen
dc.subjectatomic force microscopyen
dc.subjectmetamaterialsen
dc.subjectnegative refractionen
dc.subjectsplit-ring resonatorsen
dc.titleNanofabrication of planar split ring resonators for negative refractive index metamaterials in the infrared rangeen
dc.titleNanofabrikacija planarnih split ring rezonatora za metamaterijale sa negativnim indeksom prelamanja u infracrvenom opsegusr
dc.typearticle
dc.rights.licenseBY-NC-ND
dcterms.abstractЈакшић, Зоран; Максимовић, Милан; Ђурић, Зоран Г.; Васиљевић-Радовић, Дана; Сарајлић, Милија; Нанофабрикација планарних сплит ринг резонатора за метаматеријале са негативним индексом преламања у инфрацрвеном опсегу; Нанофабрикација планарних сплит ринг резонатора за метаматеријале са негативним индексом преламања у инфрацрвеном опсегу;
dc.citation.volume71
dc.citation.issue6
dc.citation.spage695
dc.citation.epage703
dc.citation.other71(6): 695-703
dc.citation.rankM23
dc.identifier.doi10.2298/JSC0606695J
dc.identifier.rcubConv_217
dc.identifier.fulltexthttp://cer.ihtm.bg.ac.rs//bitstream/id/8890/256.pdf
dc.identifier.scopus2-s2.0-33748948758
dc.identifier.wos000240444400014
dc.type.versionpublishedVersion


Files in this item

Thumbnail

This item appears in the following Collection(s)

Show simple item record