Претраживање
Приказ резултата 1-1 од 1
Mikromehanička i strukturna svojstva laminatnih kompozitnih materijala sa primenom u mikroelektromehaničkim tehnologijama / Micromechanical and structural properties of composite laminate materials used in microelectromechanical technologies
(Универзитет у Београду, Технолошко-металуршки факултет, 2010)
Маtеriјаli kојi sе kоristе u mikrоеlеktrоmеhаničkim sistеmimа (МЕМS) su nајčеšćе u оbliku tаnkih filmоvа kојi su dеpоnоvаni nа supstrаtimа ili fоrmirајu kоmpоzitе sа drugim filmоvimа. Таnkе višеslојnе strukturе imајu ...