Претраживање
Приказ резултата 1-1 од 1
Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka / Realization of Si microcantilevers by wet anisotropic etching on {100} oriented substrates applying <100> compensation beams
(Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku, 2013)
U ovom radu je prikazan način realizacije mikrogredica na Si supstratu {100} orijentacije postupcima zapreminskog mikromašinstva. Rastvor za anizotropno nagrizanje je bio vodeni rastvor 30 tež. % KOH na temperaturi od 80C. ...