Претраживање
Приказ резултата 1-2 од 2
Realizacija Si mikrogredica vlažnim hemijskim nagrizanjem na podlogama (100) orijentacije primenom (100) kompenzacionih traka / Realization of Si microcantilevers by wet anisotropic etching on {100} oriented substrates applying <100> compensation beams
(Beograd : Društvo za elektroniku, telekomunikacije, računarstvo, automatiku i nuklearnu tehniku, 2013)
U ovom radu je prikazan način realizacije mikrogredica na Si supstratu {100} orijentacije postupcima zapreminskog mikromašinstva. Rastvor za anizotropno nagrizanje je bio vodeni rastvor 30 tež. % KOH na temperaturi od 80C. ...
Poboljšanje performansi višenamenskog senzora sa termoparovima primenom sopstvene MEMS tehnologije za izradu SOI piezorezistivnih senzora pritiska / Enhancement of the performance of multipurpose thermopile-based sensor using proprietary mems technology for soi piezoresistive pressure sensors fabrication
(ETRAN Society, 2012)
MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta su tema
dugogodišnjeg istraživanja u IHTM-CMTM-u. Oni su
posebno interesantni zbog činjenice da imaju raznovrsnu
primenu (senzori protoka, senzori vakuuma, termalni
konvertori, ...