Претраживање
Приказ резултата 1-1 од 1
Poboljšanje performansi višenamenskog senzora sa termoparovima primenom sopstvene MEMS tehnologije za izradu SOI piezorezistivnih senzora pritiska / Enhancement of the performance of multipurpose thermopile-based sensor using proprietary mems technology for soi piezoresistive pressure sensors fabrication
(ETRAN Society, 2012)
MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta su tema
dugogodišnjeg istraživanja u IHTM-CMTM-u. Oni su
posebno interesantni zbog činjenice da imaju raznovrsnu
primenu (senzori protoka, senzori vakuuma, termalni
konvertori, ...