@conference{
author = "Randjelović, Danijela and Smiljanić, Milče M. and Lazić, Žarko and Popović, Mirjana",
year = "2012",
abstract = "MEMS senzori na bazi Zebekovog efekta su tema
dugogodišnjeg istraživanja u IHTM-CMTM-u. Oni su
posebno interesantni zbog činjenice da imaju raznovrsnu
primenu (senzori protoka, senzori vakuuma, termalni
konvertori, IC detektori, akcelerometri, inklinometri,
biološki i hemijski senzori, senzori vrste gasa, senzori
sastava binarne smeše gasova, ...). U IHTM-u je do sada
realizovano nekoliko varijanti ovog tipa senzora. Prilikom
razvoja ovih senzora teži se da se iskoriste postojeći
tehnološki procesi razvijeni za IHTM piezorezistivne senzore
pritiska. Tako je poslednja generacija senzora sa
temoparovima tehnološki kompatibilna sa IHTM Si
piezorezistivnim senzorima pritiska. U medjuvremenu je
osvojena tehnologija izrade SOI piezorezistivnih senzora
pritiska koja će biti primenjena za realizaciju sledeće
generacije termalnih senzora. U ovom radu je dat osvrt na
dizajn, tehnologiju izrade i poboljšanje performansi koje se
očekuje kod SOI višenamenskih senzora sa termoparovima., MEMS sensors based on Seebeck effect have been a part of the long-term research at IHTM-CMTM. They are of special interest because of the fact that they have broad range of applications (flow sensors, vacuum sensors, thermal converters, IR detectors, accelerometers, inclinometers,
biological and chemical sensors, gas type sensors, binary gas mixture composition sensors, ...). Till now several types of this kind of sensors have been developed at IHTM. During the development process we aim at using aleady existing technological processes developed for IHTM piezoresistive pressure sensors. Thus, the last generation of thermopile-based sensors is technologicaly compatible with IHTM Si piezoresisitve pressure sensors. In the meantime, a
technology of SOI piezoresistive pressure sensors have been conquered and it will be applied for realization of the next generation of thermal sensors. This paper gives overview of the design, fabrication technology and performance improvement expected to be reached with SOI multipurpose thermopile-based sensors.",
publisher = "ETRAN Society",
journal = "Zbornik radova 56. Konferencije za ETRAN, 11-14. juna 2012, Zlatibor / Proceedings 56th ETRAN Conference, June 11-14, 2012, Zlatibor",
title = "Poboljšanje performansi višenamenskog senzora sa termoparovima primenom sopstvene MEMS tehnologije za izradu SOI piezorezistivnih senzora pritiska, Enhancement of the performance of multipurpose thermopile-based sensor using proprietary mems technology for soi piezoresistive pressure sensors fabrication",
pages = "MO3.3-1-MO3.3-4",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_5827"
}