TY  - GEN
AU  - Rađenović, Branislav
AU  - Smiljanić, Milče M.
AU  - Radmilović Rađenović, Marija
PY  - 2020
UR  - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/3977
AB  - U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se
nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici predstavljaju neku vrstu projekcije dvodimenzionalnog, planarnog lika sa maske u treću dimenziju, koja je ovom slučaju debljina silicijumske pločice i prostiru se do dubine nagrizanja. Za vreme anizotropnog vlažnog hemijskog nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % TMAH na temperaturi od 80 °C različite kristalografske ravni se nagrizaju različitim brzinama. Zbog različitih brzina nagrizanja neke ravni će se pojavljivati tokom nagrizanja dok će druge nestajati. Tokom nagrizanja javlja se problem podgrizanja konveksnih uglova i pojave
određenih kristalografski ravni koje deformišu trodimenzionalne silicijumske strukture. Problem podgrizanja se može rešiti direktnim uračunavanjem ove pojave u projektovanju i kompenzacijom dodavanjem viška materijala na mestima koja se brže nagrizaju (strukture za kompenzaciju). Projektovanje željenog oblika u zapreminskom mikromašinstvu je najčešće veoma komplikovano i zahteva puno eksperimentalnog rada da bi se predvidelo kako se ponaša odgovarajuće sredstvo za nagrizanje. Eskperimentalni rad zahteva potrošnju silicijumskih pločica i sredstva za nagrizanje, kao i primenu procesa termičke oksidacije i hemijskih pranja u pripremi za eksperiment. Razvoj softvera za simulaciju nagrizanja silicijuma u anizotropnom vodenom rastvori smanjuje troškove razvoja i proizvodnje u IHTM-CMT jer se pre izrade silicijumske strukture mogu simulirati različite maske i izabrati onaj dizajn koji je najbolji.
T1  - Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro
UR  - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3977
ER  - 

@misc{
author = "Rađenović, Branislav and Smiljanić, Milče M. and Radmilović Rađenović, Marija",
year = "2020",
abstract = "U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se
nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici predstavljaju neku vrstu projekcije dvodimenzionalnog, planarnog lika sa maske u treću dimenziju, koja je ovom slučaju debljina silicijumske pločice i prostiru se do dubine nagrizanja. Za vreme anizotropnog vlažnog hemijskog nagrizanja silicijuma u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. % TMAH na temperaturi od 80 °C različite kristalografske ravni se nagrizaju različitim brzinama. Zbog različitih brzina nagrizanja neke ravni će se pojavljivati tokom nagrizanja dok će druge nestajati. Tokom nagrizanja javlja se problem podgrizanja konveksnih uglova i pojave
određenih kristalografski ravni koje deformišu trodimenzionalne silicijumske strukture. Problem podgrizanja se može rešiti direktnim uračunavanjem ove pojave u projektovanju i kompenzacijom dodavanjem viška materijala na mestima koja se brže nagrizaju (strukture za kompenzaciju). Projektovanje željenog oblika u zapreminskom mikromašinstvu je najčešće veoma komplikovano i zahteva puno eksperimentalnog rada da bi se predvidelo kako se ponaša odgovarajuće sredstvo za nagrizanje. Eskperimentalni rad zahteva potrošnju silicijumskih pločica i sredstva za nagrizanje, kao i primenu procesa termičke oksidacije i hemijskih pranja u pripremi za eksperiment. Razvoj softvera za simulaciju nagrizanja silicijuma u anizotropnom vodenom rastvori smanjuje troškove razvoja i proizvodnje u IHTM-CMT jer se pre izrade silicijumske strukture mogu simulirati različite maske i izabrati onaj dizajn koji je najbolji.",
title = "Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro",
url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3977"
}

Rađenović, B., Smiljanić, M. M.,& Radmilović Rađenović, M.. (2020). Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro. .
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3977

Rađenović B, Smiljanić MM, Radmilović Rađenović M. Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro. 2020;.
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3977 .

Rađenović, Branislav, Smiljanić, Milče M., Radmilović Rađenović, Marija, "Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro" (2020),
https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_3977 .