Search
Now showing items 1-1 of 1
Реализација силицијумских микрогредица за фотоакустична мерења
(University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2013)
Двостраним анизотропним влажним нагризањем формиране су микрогредице на
монокристалним Si подлогама (100) оријентације поступцима запреминског
микромашинства.