Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora
Samo za registrovane korisnike
2017
Autori
Sarajlić, MilijaJakšić, Zoran
Lazić, Žarko
Randjelović, Danijela
Radulović, Katarina
Tanasković, Dragan
Ostalo (Objavljena verzija)
,
IHTM CMT
Metapodaci
Prikaz svih podataka o dokumentuApstrakt
Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.
Ključne reči:
plazmoni / plazmonski senzori / hemijski senzori / fotolitografija / direktno crtanje laserom / fotorezist / tanak sloj / aluminijum / plasmons / plasmonic sensors / chemical sensors / direct laser drawing / photoresist / thin layers / aluminium / photolitographyIzvor:
2017Finansiranje / projekti:
- Mikro, nano-sistemi i senzori za primenu u elektroprivredi, procesnoj industriji i zaštiti životne sredine (RS-MESTD-Technological Development (TD or TR)-32008)
Napomena:
- Naručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije;
Kolekcije
Institucija/grupa
IHTMTY - GEN AU - Sarajlić, Milija AU - Jakšić, Zoran AU - Lazić, Žarko AU - Randjelović, Danijela AU - Radulović, Katarina AU - Tanasković, Dragan PY - 2017 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664 AB - Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi. T1 - Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 ER -
@misc{ author = "Sarajlić, Milija and Jakšić, Zoran and Lazić, Žarko and Randjelović, Danijela and Radulović, Katarina and Tanasković, Dragan", year = "2017", abstract = "Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.", title = "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664" }
Sarajlić, M., Jakšić, Z., Lazić, Ž., Randjelović, D., Radulović, K.,& Tanasković, D.. (2017). Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. . https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664
Sarajlić M, Jakšić Z, Lazić Ž, Randjelović D, Radulović K, Tanasković D. Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. 2017;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 .
Sarajlić, Milija, Jakšić, Zoran, Lazić, Žarko, Randjelović, Danijela, Radulović, Katarina, Tanasković, Dragan, "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora" (2017), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 .