Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora
Само за регистроване кориснике
2017
Аутори
Sarajlić, MilijaJakšić, Zoran
Lazić, Žarko
Randjelović, Danijela
Radulović, Katarina
Tanasković, Dragan
Остало (Објављена верзија)
,
IHTM CMT
Метаподаци
Приказ свих података о документуАпстракт
Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.
Кључне речи:
plazmoni / plazmonski senzori / hemijski senzori / fotolitografija / direktno crtanje laserom / fotorezist / tanak sloj / aluminijum / plasmons / plasmonic sensors / chemical sensors / direct laser drawing / photoresist / thin layers / aluminium / photolitographyИзвор:
2017Финансирање / пројекти:
Напомена:
- Naručilac: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Realizator: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Godina izrade: 2017; Godina primene: 2017; Datum verifikacije: 26. 10. 2018; Primena od strane: NU IHTM-Centar za mikroelektronske tehnologije, Univerzitet u Beogradu; Naučna oblast: Tehničko-tehnološke nauke; Naučna disciplina: Elektronika, telekomunikacije i informacione tehnologije;
Колекције
Институција/група
IHTMTY - GEN AU - Sarajlić, Milija AU - Jakšić, Zoran AU - Lazić, Žarko AU - Randjelović, Danijela AU - Radulović, Katarina AU - Tanasković, Dragan PY - 2017 UR - https://cer.ihtm.bg.ac.rs/handle/123456789/2664 AB - Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi. T1 - Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora UR - https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 ER -
@misc{ author = "Sarajlić, Milija and Jakšić, Zoran and Lazić, Žarko and Randjelović, Danijela and Radulović, Katarina and Tanasković, Dragan", year = "2017", abstract = "Ovo tehničko rešenje predstavlja fotolitografski postupak kojim se rešava problem dobijanja kontrolisane periodične strukture sa dimenzijama manjim od dimenzija dizajniranih na fotolitografskoj masci [1].Na takav način moguće je smanjiti dimenzije izrađene strukture na oko 1mm u x-yravni. Prethodno ostvarene najsitnije strukture sa istim uređajem LaserWriter (LW405, MicroTech, Italija) u IHTM-CMT bile su oko 5mm [2]. Potreba za kontrolisanim periodičnim strukturama proizlazi iz njihove primene kod plazmonskih struktura koje se mogu koristiti kao optički filteri, hemijski i biološki senzori a takođe i kao plazmonski talasovodi.", title = "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora", url = "https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664" }
Sarajlić, M., Jakšić, Z., Lazić, Ž., Randjelović, D., Radulović, K.,& Tanasković, D.. (2017). Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. . https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664
Sarajlić M, Jakšić Z, Lazić Ž, Randjelović D, Radulović K, Tanasković D. Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora. 2017;. https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 .
Sarajlić, Milija, Jakšić, Zoran, Lazić, Žarko, Randjelović, Danijela, Radulović, Katarina, Tanasković, Dragan, "Tehnološki postupak izrade submikrometarskih stubića fotorezista za potrebe projektovanja plazmonskih senzora" (2017), https://hdl.handle.net/21.15107/rcub_cer_2664 .