Pretraživanje
Prikaz rezultata 1-1 od 1
Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro
(2020)
U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se
nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici ...