Претраживање
Приказ резултата 1-3 од 3
Softver za simulaciju nagrizanja silicijuma LSPro
(2020)
U zapreminskom mikromašinstvu procesom vlažnog hemijskog nagrizanja odstranjuje se
nepotrebni silicijum u otvoru maskirajućeg materijala i formiraju se kompleksni trodimenzionalni oblici. Dobijeni trodimenzionalni oblici ...
Kompenzacija konveksnog ugla u vodenom rastvoru TMAH koncentracije 25 tež. %
(Belgrade : University of Belgrade - Institute of Chemistry, Technology and Metallurgy, 2015)
Anizotropno vlažno hemijsko nagrizanje (100) silicijuma u vodenom rastvoru TMAH
koncentracije 25 tež. % na temperaturi od 80 C je novi tehnološki postupak koji se koristi za
izradu različitih trodimenzionalnih struktura. ...
Реализација ПДМС (ПолиДиМетилСилоксанских) мембрана над дефинисаним отворима у Si {100} оријентације поступцима запреминског микромашинства
(Ministarstvo za prosvetu, nauku i tehnološki razvoj - Projekat TR32008, 2015)
Поступцима запреминског микромашинства су реализовани квадратни отвори у Si супстратима {100} оријентације и над њима мембране ПДМС-а различите дебљине. С обзиром, да се филмови ПДМС-а не могу обрађивати и структуирати ...